許多人會認為無塵室內不會有塵埃粒子的產生，在建造后就一直使用，并不懂得維護和保養無塵室，無塵室內的發塵量，有一部分是來自室內的機械設備自身所產生的塵埃，而在無塵室內可以考慮局部排風將室內的污染物排出室外。而工作人員在無塵室內走動也會給室內帶來塵埃粒子，在人的發塵量上，由于服裝材料和樣式的改進，發塵絕對量也不斷減少。室內維護結構表面發塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時的表面發塵量與一個靜止的人的發塵量相當。

　　無塵室內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測，以確實掌握質量，若有數據異常，可立即做緊急處理。無塵室停止運轉再開機要點管理：啟動后立即進行微塵粒子之測試，須無塵室恢復穩定正常時再開始作業。表8為空調設備應檢查之項目。